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2024 -09

艾司摩爾：新EUV能耗減少

來源：深圳市兆信半導體有限公司

                                                                                            艾司摩爾：新EUV能耗減少

                          半導體設備業者艾司摩爾（ＡＳＭＬ）昨日在SEMICON Taiwan半導體展，分享新一代高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）微影技術，艾司摩爾High NA EUV產品管理副總裁Greet Storms表示，新一代設備雖貴，但絕對值得。

                           High NA EUV于二○二三年問世，去年底出貨給首家下單的美系客戶，亞洲客戶將于今、明年陸續安裝。

                          不過，ＥＵＶ設備被喻為吃電怪獸，但ＡＳＭＬ提出統計指出，二○一八年到二○二三年五年間，ＥＵＶ曝光每片晶圓能耗減少近百分之四十，希望到二○二五年再減少近百分之卅五能耗。


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